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BEST991导电和防静电材料体积电阻率测试仪操作手册临高

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BEST991导电和防静电材料体积电阻率测试仪操作手册临高

发布用户:Bgjy 时间:2021-09-20 22:37

BEST991导电和防静电材料体积电阻率测试仪操作手册临高

BEST991导电和防静电材料体积电阻率测试仪操作手册临高


四端测试法是目前较先进之测试方法,主要针对高精度要求之产品测试;本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

提供中文或英文两种语言操作界面选择,满足国内及国外客户需求

便于查看的显示/直观的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示;操作易学,直观使用;

基本设置操作简单,方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果;多种参数同时显示。

精度高:电阻基本准确度: 0.05%;方阻基本准确度:3%;电阻率基本准确度:3%

整机测量大相对误差:≤±3%;整机测量标准不确定度:≤±3%

四位半显示读数;八量程自动或手动测试;

测量范围宽: 电阻:10-4Ω-10-5Ω ;方阻:10-4Ω/□-105Ω/□;

正反向电流源修正测量电阻误差

恒流源:电流量程分为: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六档;仪器配有恒流源开关可有效保护被测件,即先让探针头压触在被测材料上,后开恒流源开关,避免接触瞬间打火。为了提高工作效率,如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时,恒流源开关可一直处于开的状态。

可配合多种探头进行测试;也可配合多种测试台进行测试。

校正功能:可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。

厚度可预设,自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。

自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。

双电测测试模式,测量精度高、稳定性好.

具备温度补偿功能,修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。

比较器判断灯直接显示,勿需查看屏幕,作业效率得以提高。

3档分选功能:超上限,合格,超下限,可对被测件进行HI/LOW判断,可直接在LCD使用标志显示;也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。

测试模式:可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。

丰富的接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。实现远程控制。U盘可记录测试数据

软件功能(选配):软件可记录、保存、各点的测试数据;可供用户对数据进行各种数据分

析。

标配:测试平台一套、主机一套、电源线数据线一套。

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测量误差±5%测量电压量程: 2mV 20mV 200mV 2V

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,

医学规定不能让有心脏病或配戴心律调整器的人员操作。

测试探头和测试平台操作选配测试平台的将被测物放在测试平台上,调节探头探针与样品良好接触,探头有二种,一种是探针是弹簧针型,一种是硬针而探头内腔有弹簧;探头有方型和直线型两种结构;调节测试平台上的水平定位角,保证水平仪水准在中心位置;放置好被测物品,后压下探头至被测物,带数据稳定后读取

测量精度±(0.1%读数)

GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

检查电源线是否接触良好;检查后面板上的电源开关是否已经打开

取试样,试样试验前的处理依据标准进行,

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使用前期准备--测试前准备工作:开机预热:将220V电源插头插入电源插座,打开电源开关,让仪器预热15分钟,保证测试数据稳定。若测试仪无常启动,请按以下步骤检查:

进入测试功能界面如图4、图5;如测试方阻时,请选择液晶显示屏又侧对应 的功能按键“方阻",则进入方阻测试界面;如测试其他材料时,请选择“材料"则进入材料电阻,电阻率,电导率测试仪界面。

分辨率: 小1μΩ

仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。在计算机控制下进行两次电测量,能自动样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。

使用者的修改使用者不得自行更改机器的线路或零件,如被更改机器后保修则自动失效并且本公司不负任何事故责任。在保修内使用未经我公司认可的零件或附件造成故障也不予保证。如发现送回检修的机器被更改,将机器的电路和零件修复回原来设计的状态,并收取修护费用。

以下分别讲解方阻和材料测试的设置四探针方阻测试步骤上述步骤中1项,使用前期准备

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BEST-300C导电材料电阻率测定仪按照硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84)及标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准,本机配置232电脑接口及USB两种接口,本机采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量,更加准确.

电流测量:本仪器采用先进芯片技术,可通过调节硅材料厚度,仪器可直接锁定电流,使测量使用更加简便准确,本仪器可根据需要配备测试平台, 利用测试平台可以测试薄片电阻率

使用前期准备--测试前准备工作:开机预热:将220V电源插头插入电源插座,打开电源开关,让仪器预热15分钟,保证测试数据稳定。若测试仪无常启动,请按以下步骤检查:

材料电阻测试步骤:操作步骤及流程

输入电源输入:220V±10% 使用频率:50Hz

抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等

安全守则操作人员随时给予教育和训练,使其了解各种操作规则的重要性,并依安全规则操作。

测试功能:可选择:“RρK"(显示电阻,电阻率,电导率),“R"(只显示电阻),“ρ"(只显示电阻率,“K"(只显示电导率)3种显示模式。

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本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电导率单位自动选择,BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成图表和报表。

一般目前的四探针电阻率(电导率)测试仪均已配置厚度的修正,通过厚度数值的设置,计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上,并且间距相等,都是S,一般采用0.5mm的间距,不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。可以测量片状、块状半导体材料的电阻率,扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻(简称方阻),换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电导率单位自动选择,BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成图表和报表。

电阻率测量:大屏幕清晰显示硅料电阻率值,方便检料工快速分选

电流输出:直流电流 0~1000mA 连续可调,由交流电源供电。

接通电源,开启电源开关,待仪器液晶显示屏上显示出厂家和产品信息后,如图3,按“显示"键进入,

使用者的修改使用者不得自行更改机器的线路或零件,如被更改机器后保修则自动失效并且本公司不负任何事故责任。在保修内使用未经我公司认可的零件或附件造成故障也不予保证。如发现送回检修的机器被更改,将机器的电路和零件修复回原来设计的状态,并收取修护费用。

GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

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人员资格本仪器为精密仪器,由训练合格的人员使用和操作。

接口:可选择“USB"和“232"两种模式。根据用户使用的接口类型进行选择。

四探针电阻率方块电阻测试仪注意事项:仪器操作前请您仔细阅读使用说明书,规范操作

在开机界面按下按键板上的“显示"键,进入测量界面。如图1如图2,在液晶显示屏右侧有4个蓝色功能按键,当测材料电阻率时,请选择 “材料"按键 ,进入材料测试主界面.

如经上述检查无误后,测试仪仍未正常启动,请联系本公司进行解决。

GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

电导率:5×10-6~1×108ms/cm

以下设置和功能属于配置操作软件机型使用,如您购买的无电脑操作软件的话,请勿设置.

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显示方式:液晶显示6、电源:220±10% 50HZ/60HZ

在开机界面按下按键板上的“显示"键,进入测量界面。如图1如图2,在液晶显示屏右侧有4个蓝色功能按键,当测材料电阻率时,请选择 “材料"按键 ,进入材料测试主界面.

配置手动粉末测试装置也可以(选购)自动粉末测试装置,测试粉末时可以通过装置获得粉末压实后高度、直径、压强等数据,输入仪器后自动计算出所需数据.能方便解决粉末及颗粒物料电阻、电阻率及电导率测量需求,经济实惠,功能突出,设计合理,是粉末行业理想之测试仪器.

中、英文界面

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